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報告承辦單位:物理與電子科學學院

報告內容:我國半導體制造關鍵設備-離子注入機的現狀

報告人姓名:王迪平

報告人所在單位:北京爍科中科信電子裝備有限公司（隸屬中國電科四十八所）

報告人職稱/職務及學術頭銜:研究員級高級工程師

報告時間:2022年10月21日（周五）15:00

報告地點:云塘校區理科樓B413

報告人簡介:王迪平，中國電子科技集團研究員級高級工程師，現任北京爍科中科信長沙分公司科研技術主管，控制總師。主要從事離子注入機的研制開發和量產研究，主導設計開發了離子注入機的關鍵部件：劑量控制器、劑量積分儀、全電掃描劑量控制器、大束流檢測板、PCI總線下的光纖通訊環路板。在國內外學術期刊發表論文10余篇，授權發明和實用新型專利30余項。做為控制總師參與完成了“9711”工程、國家863、02專項等各類項目10余項，主持完成總裝型譜、總裝預研等多個重點項目。研制開發的多臺設備或項目先后獲得中國電子科技集團公司科學技術一等獎、國防科學技術二等獎、信息產業重大技術發明獎、中國電子科技集團公司科技進步特等獎、北京市科學技術獎一等獎、中國電子學會電子信息科學技術獎一等獎、北京市通州區科技進步一等獎。