12月21日上午10點,應汽機學院及機械裝備高性能智能制造關鍵技術湖南省重點實驗室邀請,大連理工大學康仁科教授在云塘校區工科一號樓B411報告廳做了題為“硬脆晶體基片超精密加工技術與裝備”的學術報告。學術報告會由汽機學院副院長毛聰教授主持,胡永樂書記、胡宏偉教授、張健教授、張明軍副教授、唐昆博士、湖南大學黃向明教授,以及學院相關專業研究生等六十余人聆聽了此次講座。
報告中,康仁科教授針對硬脆晶體基片在集成電路、光電子器件、武器裝備等領域的廣泛應用,分析了硬脆晶體基片超精密加工技術及裝備的現狀與趨勢,從硬脆晶體基片高效低損傷超精密磨削技術、硬脆晶體基片超精密磨削裝備開發、大尺寸薄硅片變形測量技術與指標、金剛石晶體的高速摩擦化學拋光技術等四個方面介紹了其團隊研究成果。其中,著重闡述了300mm硅片全自動超精密磨床、晶圓超精密減薄磨削機床、硬脆晶體基片超精密雙面磨削機床、超薄硬脆晶體鏡片研磨/拋光機等高效、高精裝備及其相關技術的研發,并對裝備指標、工藝方案、控制策略和合理工藝參數等做了詳細講解。
最后,康仁科教授與在場的師生進行了友好的交流和熱烈的探討,細致地解答了在場老師和同學們的問題,報告在熱烈的掌聲中結束。康仁科教授高深的學術造詣、嚴謹的學術態度和深入淺出的講解給在場師生留下了深刻的印象;同時,此次報告也促進了在場師生對高效、高質量超精密制造技術創新工作的認識,拓寬了學術視野,為參會師生們的學術研究提供了新的視角。

